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PDF版_月刊オプトロニクス2021年5月号「レーザーアニーリング技術の発展」
商品コード: OP2105

PDF版_月刊オプトロニクス2021年5月号「レーザーアニーリング技術の発展」

販売価格(税込): 500
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月刊オプトロニクス

発行:㈱オプトロニクス社
頁数80頁
ファイル形式:PDF版
ファイルサイズ:約8MB
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月刊オプトロニクス2021年5月号レビュー

月刊OPTRONICS 5 月号ではディスプレイ・半導体分野におけるレーザーアニーリング技術の発展に焦点を当て特集します。この技術分野ではエキシマレーザーに加え、可視光レーザーによるプロセス開発も進んでいます。本特集ではディスプレイはもとより、パワー半導体向けレーザーアニーリング技術も解説します。

目次

特集「ディスプレイ・半導体におけるレーザーアニーリング技術の発展」

総論:レーザーアニーリング装置・プロセスの発展と今後の技術開発への期待
ディスプレイとLTPS-TFT用露光装置の進展
高繰り返しKrF エキシマレーザー光源のアニールへの適用
エキシマレーザアニーリング,モバイルディスプレイ分野のロードマップを促進
パワー半導体向けレーザーアニーリング装置とそのプロセス
ブルーレーザーダイオードアニーリングと実用化への期待
光ファイバーと青色半導体レーザーを用いたアニーリング技術

Interview

光の層が生み出す新たな世界 ─ 蛍光によるプリミティブな表示デバイスの可能性
cog 石川 将也

リーダーズインタビュー
成長のカギは,ヘルスケアとシリコンフォトニクスにあり
(株)QDレーザ 代表取締役社長 菅原 充 氏

Photo-Tech News & Report

NTT,機械振動を用いた光増幅を可能にするオプトメカニカル素子を作製
─ 超小型・高効率光増幅器に一歩

マーケットレビュー

2020年度の光産業調査結果がまとまる ─ 情報通信分野がテレワークや5G効果で堅調

特別寄稿

私の追憶 最終回 わが師Leibingerさんとの思い出
─LeTrumpf の友人たち/おわりに ─

シリーズ

若手研究者の挑戦 第65回

コラム

発明・特許のこぼれ話 第161回
ひかりがたり 第98話
論調~海外技術誌を読み解く 第44回

連載広告

レーザー光学とレーザー用光学部品の基礎 第15回
エドモンド・オプティクス・ジャパン㈱

光業界トピックス
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